真空系統(tǒng)檢漏是指在真空系統(tǒng)中檢測(cè)并排除泄漏的過(guò)程。常用的真空系統(tǒng)檢漏方法包括以下幾種：

氣體探測(cè)器法：利用氣體探測(cè)器檢測(cè)真空系統(tǒng)中的氣體濃度，從而判斷是否存在泄漏。常用的氣體探測(cè)器有質(zhì)譜儀、氣體色譜儀、氦質(zhì)譜儀等。

真空計(jì)法：利用真空計(jì)測(cè)量真空系統(tǒng)的壓力變化，從而判斷是否存在泄漏。常用的真空計(jì)有熱陰極離子化真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)等。

氣泡法：將真空系統(tǒng)的部件浸入水中，觀察是否有氣泡冒出，從而判斷是否存在泄漏。該方法適用于對(duì)小型和密封性較差的部件進(jìn)行泄漏檢測(cè)。

氣壓差法：在真空系統(tǒng)的兩端分別施加氣壓，觀察系統(tǒng)中的壓力變化，從而判斷是否存在泄漏。該方法適用于對(duì)大型和密封性較好的部件進(jìn)行泄漏檢測(cè)。

熒光檢漏法：在真空系統(tǒng)中加入熒光探劑，利用紫外光檢測(cè)熒光信號(hào)，從而判斷是否存在泄漏。該方法適用于對(duì)密封性要求較高的部件進(jìn)行泄漏檢測(cè)。 

綜上所述，真空系統(tǒng)檢漏常用的方法包括氣體探測(cè)器法、真空計(jì)法、氣泡法、氣壓差法和熒光檢漏法等。對(duì)于不同的檢測(cè)對(duì)象和需求，可以選擇適合的檢漏方法進(jìn)行泄漏檢測(cè)。

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