?油擴(kuò)散泵是高超濾裝置常常應(yīng)用的泵種,采用一些技術(shù)措施,能夠得到 超高真空泵,其方? 法有以下幾類? (1)采用特性好的擴(kuò)散泵油? 泵油對(duì)油擴(kuò)散泵極限工作壓力危害非常大,如應(yīng)用3號(hào)擴(kuò)散泵油,其極限工作壓力只有做到10-5? Pa,而改成了275甲基硅油,其極限工作壓力能做到10-Pa,極限工作壓力提升 兩個(gè)量級(jí)。次之被抽? 汽體的分工作壓力也隨泵油的不一樣而轉(zhuǎn)變,這就是泵油成份產(chǎn)生的危害。因此用食油擴(kuò)散泵得到 超? 高真空泵,務(wù)必挑選特性好的擴(kuò)散泵油。對(duì)擴(kuò)散泵油的規(guī)定是:泵油的相對(duì)性含量要大,常溫下? 下的蒸汽壓要低,耐熱性和抗氧化好些,凝點(diǎn)和超低溫粘度要低、要無毒性、抗腐蝕、成? 本要低。擴(kuò)散泵油的技術(shù)參數(shù)見表4-38所示。

如今高真空泵油擴(kuò)散泵廣泛選用3號(hào)擴(kuò)散泵油,超高真空泵選用甲基硅油,規(guī)定沒有氮氧化合物? 的超高超濾裝置,擴(kuò)散泵選用氟油。? (2)選用有效的烘烤技術(shù)性? 用食油擴(kuò)散泵得到 超高超濾裝置都開展高溫烘烤,目地是降低原材料的排氣速度。原材料在大? 標(biāo)準(zhǔn)氣壓下都能消化吸收和吸咐一些汽體,當(dāng)處在真空泵里時(shí),便造成解析,使汽體遲緩地釋放出,
為了更好地加快解析,選用姒烤? 原材料的不一樣,挑選的烘烤溫度也不一樣,標(biāo)準(zhǔn)是溫度高一些好,能夠加**氣,但也要考? 慮到原材料是不是能承受得往高溫,烘烤溫度要挑選適合。一般金屬復(fù)合材料,如不銹鋼板,烘烤溫度? 為250~450℃,非金屬材質(zhì)烘烤溫度為80~100℃,烘烤時(shí)間4-8h之上。極高真空泵的烘烤? 時(shí)間在24小時(shí)之上。典型性金屬材料油擴(kuò)散泵系統(tǒng)軟件(烘烤后)的特性和金屬材料油擴(kuò)散泵超高超濾裝置中? 剩下汽體成分見表4-37和表4-39所顯示。
(3)提升冷阱設(shè)備避免 泵油反流和轉(zhuǎn)移? 泵油根據(jù)泵的通道流入被抽器皿的狀況稱為反流。油分子結(jié)構(gòu)順著器皿壁挪動(dòng)進(jìn)到被抽器皿? 壁的狀況稱為轉(zhuǎn)移。不管反流或者返轉(zhuǎn)移都是會(huì)危害超濾裝置的極限工作壓力。冷阱普遍用以超高? 超濾裝置,它裝在泵通道和被抽器皿(亦稱真空系統(tǒng))中間,不但能合理地收集擴(kuò)散泵的反流? 蒸汽及一部分分裂解物,并且可抽除來源于真空系統(tǒng)的蒸汽。配有各種冷阱的超高超濾裝置,歷經(jīng)? 完全的高溫烘烤去氣后,可得到 10-8~10-10Pa(或高些)的超高真空值。常見的冷阱是液? 氮冷阱,由于在液態(tài)氮溫度下,泵油的蒸汽工作壓力大大的小于超高歷經(jīng)完全的高溫烘烤去氣后,可? 得到 10-8~10-10Pa(或高些)的超高真空值。常見的冷阱是液態(tài)氮冷阱,由于在液態(tài)氮溫度下? 泵油的蒸汽工作壓力大大的小于超高真空值的規(guī)定。但設(shè)計(jì)方案液態(tài)氮冷阱時(shí)務(wù)必確保根據(jù)阱的分子結(jié)構(gòu)都是會(huì)碰? 到?jīng)雒嫔?另外阱的構(gòu)造要有效。裝上液態(tài)氮冷阱后,油擴(kuò)散泵的泵效減少不高過40%? (4)降低被抽汽體反外擴(kuò)散? 被抽汽體反外擴(kuò)散是限定擴(kuò)散泵得到 高真空泵要素之一。汽體反外擴(kuò)散和分子質(zhì)量相關(guān)。品質(zhì)? 愈小,愈易反外擴(kuò)散。擴(kuò)散泵抽氫的時(shí)候容易反外擴(kuò)散,避免 氫反外擴(kuò)散方式有二種:其一,減少擴(kuò)散泵? 出入口排氣管工作壓力,選用2個(gè)擴(kuò)散泵串連來完成;其二是在擴(kuò)散泵進(jìn)風(fēng)口管道上安裝液態(tài)氮制冷的? 鈦提升阱來收集反外擴(kuò)散的氫