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1超高真空油擴(kuò)散泵的極限壓力? 超高真空油擴(kuò)散泵極限壓力就是指沒有外界氣動(dòng)閥門的標(biāo)準(zhǔn)下,泵長(zhǎng)期性運(yùn)行能夠做到? 的較少壓力(即真空泵本身能夠做到的較少壓力),這時(shí)泵的泵效為零。實(shí)際上,? 測(cè)量擴(kuò)散泵極限壓力時(shí),必須安上按國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的測(cè)試罩,并按照要求程序流程開展? 測(cè)量,這時(shí)測(cè)試罩內(nèi)的汽體負(fù)荷,將危害到評(píng)測(cè)的極限壓力值。? 泵的極限壓力能用下式表明:
P=P+QF+Oc

式中p—擴(kuò)散泵的極限壓力,Pa;? P—測(cè)試罩壁溫下泵油的飽和蒸氣壓,Pa? S擴(kuò)散泵的泵效,L/s;? Q-泵的反流氣體壓力,Pa·L/s;? Q測(cè)試罩內(nèi)氣動(dòng)閥門的氣體壓力(出供氣量、漏汽量

從公式計(jì)算(21)能夠看得出,測(cè)試罩的Qc值,可根據(jù)超高真空焊接及密封性構(gòu)造設(shè)? 計(jì)、激光焊接加工加工工藝及嚴(yán)苛的測(cè)漏標(biāo)準(zhǔn),將漏汽量少到規(guī)定值下列;針對(duì)原材料的出? 供氣量,可選用300℃之上高溫烤制和持續(xù)長(zhǎng)期性抽真空的方式,以減少原材料的排氣速? 率。若不考慮到測(cè)試罩、人口數(shù)量處泵壁的漏汽、原材料放空氣對(duì)極限壓力的危害,基礎(chǔ)理論上影? 響超高真空油擴(kuò)散泵極限壓力的關(guān)鍵要素是泵油的飽和蒸氣壓和泵的反流(泵的返? 流包含油蒸汽和被縮小的汽體反流)。他們和泵油的采用、泵油的分餾設(shè)計(jì)方案、泵油? 的防返油構(gòu)造及其泵的噴管等比級(jí)數(shù)等相關(guān),因而,采用超高真空油擴(kuò)散泵時(shí),應(yīng)留意? y下泵的特性特性。

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