針對(duì)大型測(cè)試對(duì)象的快速抽空和較短的響應(yīng)時(shí)間，普發(fā)真空的移動(dòng)型高性能檢漏儀進(jìn)行了優(yōu)化。
ASM 390 和 ASM 392 是完美的泄漏檢測(cè)解決方案，可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用，這些應(yīng)用需要快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。 兩種設(shè)備都完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。
這些檢漏儀都配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和強(qiáng)大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測(cè)試的理想工具。ASM 392 裝有一臺(tái)額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測(cè)流程，降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。

符合人機(jī)工學(xué)且操縱靈敏
ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺(tái)，人機(jī)工學(xué)設(shè)計(jì)獨(dú)特，尺寸和高度合適，前部有手持扶手，顯示器可自由旋轉(zhuǎn)、可拆卸，前部入口易于連接測(cè)試端口，可操作性無(wú)與倫比，可用于各種測(cè)試場(chǎng)地，即使狹小的空間也應(yīng)對(duì)自如。

精巧智能且用戶友好

通過(guò)色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化集成工具箱和真空波紋管存儲(chǔ)箱，在使用地點(diǎn)所有需要的附件無(wú)不齊備，您會(huì)贊嘆泄漏檢測(cè)是多么輕松。

ASM 392

ASM 392 具有無(wú)與倫比的靈敏度和精確度。ASM 392 與 ASM 390 共享相同的平臺(tái)，并配備新增的渦輪泵，它將縮短您的泄漏檢測(cè)時(shí)間，同時(shí)不會(huì)在尺寸和可操作性方面有任何妥協(xié)。

產(chǎn)品描述

20 hPa 交叉泄壓，可以快速進(jìn)入測(cè)量模式，還可用于測(cè)量大泄漏的大量模式

具有360度全方位視角，分辨率極高的彩色觸摸屏

直觀的菜單與密碼保護(hù)，可防止意外使用

通過(guò)外部裝置（PC 或 PLC）配備自動(dòng)化用接口板

具備配備無(wú)摩擦和無(wú)機(jī)油式 ACP 泵的 35 m3/h (21 cfm) 初步處理能力

25 l/s 的氦氣抽速，可縮短測(cè)試時(shí)間

ASM 392，通用電壓

緊湊的設(shè)計(jì)，極易操控

大型彩色觸摸屏，無(wú)需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸

用于存放配件的集成工具箱

具有高前級(jí)能力 (35 m3/h) 的干式清潔泵

特殊的泵結(jié)構(gòu)，具有高氦氣抽速和極快的響應(yīng)時(shí)間