渦輪分子泵——真空泵中的領(lǐng)導(dǎo)者

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達 10-11 mbar 的真空度。

完美的真空解決方案 滿足較高要求

普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價比和靈活的安裝方式。經(jīng)過實踐驗證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過理論和實際的雙重檢驗。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認證。除機械安全性能外，該認證同時也包括了防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護，這向認證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。

優(yōu)化客戶利益

真空對于整個生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達數(shù)百萬歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來越重要。如今，渦輪泵的工作時間常高達十萬小時以上。在這段時間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護或服務(wù)作業(yè)而造成的計劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場更換軸承或機油的特點。結(jié)合該特點，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進的驅(qū)動技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護等級 IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進：一臺抽速達 250 l/s 的渦輪泵，其重量僅為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。

應(yīng)用

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
 

應(yīng)用范圍覆蓋多個領(lǐng)域：

分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）

光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

真空鍍膜技術(shù)*（表面保護、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

泄漏檢測（真空系統(tǒng)、機車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

HiPace? 10

具有 10 l/s 對于 N2 抽吸能力的小型堅固渦輪泵

產(chǎn)品描述

集成的驅(qū)動電子裝置，防護類型 IP54 適合于工業(yè)用途

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認證

運行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運行安全性

較小結(jié)構(gòu)形成的較低空間要求

特別抗振，適合移動式應(yīng)用

HiPace? 10

集成的驅(qū)動電子裝置，防護類型 IP54 適合于工業(yè)用途

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認證

運行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運行安全性

較小結(jié)構(gòu)形成的較低空間要求

特別抗振，適合移動式應(yīng)用

HiPace? 10，具有 TC 110，DN 25

接頭 DN 25

具有 24 V 供電電壓的集成驅(qū)動電子裝置

可便攜使用

不要求其它冷卻裝置

朝向預(yù)真空接口的電子接口

世界較小系列渦輪泵

具有 10 l/s 對于 N2 抽吸能力的緊湊和堅固渦輪泵

2707-Operating voltage: V DC24 (± 5 %) V DC

Ar 的壓縮比2.5 · 107

Ar 的抽速11.5 l/s

Ar 的較終轉(zhuǎn)速時的氣體流量0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s

H2 的壓縮比3 · 102H2 的抽速3.7 l/s

H2 的較終轉(zhuǎn)速時的氣體流量2.78 hPa l/s | 2.08 Torr l/s | 2.78 mbar l/s

He 的壓縮比3 · 103He 的抽速6 l/s

He 的較終轉(zhuǎn)速時的氣體流量0.48 hPa l/s | 0.36 Torr l/s | 0.48 mbar l/s

I/O 接口RS-485, 

遠程N2 的壓縮比3 · 106

N2 的抽速10 l/sN2 的較大預(yù)真空